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共聚焦显微镜三维形貌测量并且对所测量二维、三维数据进行分析

发布时间:2020-10-27 17:17 作者:千亿app

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  μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用,如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。

  CF4激光共聚焦传感器内,被照亮的小孔成像在被测量的表面,激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上,只有当焦平面和真实表面的点配对的时候,探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动,使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术,该系统的精度能达到10nm以下。

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