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光学检测设备及光学检测方法与流程

发布时间:2021-02-06 11:02 作者:千亿app

  本发明涉及一种光学检测设备及光学检测方法,尤其涉及一种具有除尘效果的光学检测设备及光学检测方法。

  随着科技发展,人们对于电子产品中电子构件的精密程度及品质需求越来越高。举例来说,电子产品中电路板上的各种元件的品质及外观检测为制造及检验过程中的重要步骤,以确保电路板的功能正常。

  一种电子构件的检测方式为利用图像获取装置来获取电子构件的图像,并据此图像判断电子构件的制造品质。一般来说,操作人员需先利用除尘设备对电子构件的表面进行除尘,然后再利用图像获取装置来对电子构件的表面进行检测,以避免电子构件的表面存在灰尘等异物而影响检测准确性。然而,除尘作业完毕后,若未立即对电子构件进行检测作业,电子构件的表面可能会在除尘作业之后与检测作业之前累积灰尘等异物,而仍会影响检测准确性。

  具体而言,现有的作业方式是作业人员先使用独立的除尘装置(如可提供除尘气流的吹气装置)对电子构件表面进行全面性的除尘,然后再开始对电子构件进行图像检测。在此种作业方式下,除尘作业并非与检测作业同时进行,而是在检测作业开始前就停止,故电子构件表面于除尘后及检测前容易再次累积灰尘等异物,累积于电子构件表面的灰尘等异物会使图像检测产生误判(例如将灰尘等异物的图像误判为电子构件表面的结构损坏或缺陷)而降低检测准确性。因此,如何让除尘作业与检测作业能够同时进行,是光学检测设备领域的重要课题。

  本发明提供一种光学检测设备及光学检测方法,可在检测作业的同时进行除尘作业。

  本发明的光学检测设备包括载台、图像获取装置及除尘装置。载台适于承载待测物。图像获取装置适于获取载台上的待测物的图像,以检测待测物,除尘装置连接于图像获取装置而适于随着图像获取装置相对于待测物移动,且适于往载台上的待测物提供除尘气流。

  本发明的光学检测方法,包括:通过载台承载待测物;提供图像获取装置及除尘装置;驱动所述除尘装置随着所述图像获取装置相对于所述待测物移动;通过所述图像获取装置获取所述载台上的所述待测物的图像,以检测所述待测物;以及通过所述除尘装置往所述载台上的所述待测物提供除尘气流。

  基于上述,在本发明的光学检测设备中,将图像获取装置与除尘装置整合为一体,使除尘装置能够随着图像获取装置相对于待测物移动。藉此,除尘装置可在图像获取装置检测待测物的同时进行除尘作业,以确实地避免待测物的表面存在灰尘等异物而影响检测准确性。

  为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂,下文特举实施例,并配合附图作详细说明如下。

  图1是本发明实施例的光学检测设备的侧视图。请参考图1,本实施例的光学检测设备100包括载台110及图像获取装置122。载台110适于承载待测物50,供图像获取装置122进行检测。待测物50例如是电路板、显示面板、触控面板或其他种类的待测物,本发明不对此加以限制。

  在本实施例的光学检测设备100还包括除尘装置124。图像获取装置122例如是电荷耦合元件(Charge Coupled Device,CCD)形式或其他适当形式的摄像装置,本发明不对此加以限制。图像获取装置122适于获取载台110上的待测物50的图像,以检测待测物50。除尘装置124连接于图像获取装置122而适于随着图像获取装置122相对于待测物50移动,且适于往载台110上的待测物50提供除尘气流F。

  如上述般将图像获取装置122与除尘装置124整合为一体,可使图像获取装置122及除尘装置124相互固定且适于同步地移动。藉此,除尘装置124可在图像获取装置122检测待测物50的同时进行除尘作业,以确实地避免待测物50的表面存在灰尘等异物而影响检测准确性。此外,更可同时搭配静电消除器(图未示)或其他种类的除尘装置来对待测物50进行除尘作业,本发明不对此加以限制。所述静电消除器以电晕放电的方式消除待测物50表面的静电,以避免灰尘或其他异物因静电而吸附于待测物50。

  在本实施例中,载台110及其上的待测物50例如是固定不动,且图像获取装置122适于在载台110上方平移以依序检测待测物50的各个区域。在其他实施例中,也可将图像获取装置122设置为固定不动,并驱动待测物50在载台110上相对于图像获取装置122平移,以使图像获取装置122依序检测待测物50的各个区域。此外,在其他实施例中,载台110可为气浮载台,以避免待测物50与载台110的接触使待测物50的背面造成损坏。

  在本实施例中,除尘装置124与载台110之间的距离小于图像获取装置122与载台110之间的距离,使除尘装置124提供的除尘气流F能够有效地对待测物50进行除尘。本实施例的除尘装置124具有开口124a且适于从开口124a以吹气的方式提供所述除尘气流F。当图像获取装置122对位于载台110上的待测物50的区域时,除尘装置124的开口124a朝向载台110上的待测物50的所述区域,使除尘气流F到达图像获取装置122检测的所述区域。

  图2是图1的光学检测设备的部分构件侧视图。图2省略了图1的支架126的部分结构,使光源128及除尘装置124更为清楚。请参考图1及图2,本实施例的光学检测设备100还包括支架126及光源128。支架126连接于图像获取装置122且往载台110延伸,光源128配置于支架132的末端且适于往载台110上的待测物50提供光束L,其为图像获取装置122获取待测物50的图像时所需光线的所述末端。也即,光源128与除尘装置124共用支架126,而可简化光学检测设备100的结构。

  在本实施例中,除尘装置124例如是沿倾斜于图像获取装置122的光轴A的方向提供除尘气流F。此外,除尘装置124提供除尘气流F的方向例如平行于光源128的光轴的延伸方向(即光束L的方向)。然本发明不以此为限,在其他实施例中,除尘装置124可沿其他适当方向提供除尘气流F。

  请参考图2,本实施例的光学检测设备100可设置分光元件130。光源128提供的光束L被待测物50反射后可通过分光元件130的导引而到达图像获取装置122。在其他实施例中,可通过其他方式使光源128提供的光束L到达图像获取装置122,本发明不对此加以限制。

  以下说明对应于本实施例的光学检测方法。图3是本发明实施例的光学检测方法流程图。请参考图1及图3,首先,通过载台110承载待测物50(步骤S602)。接着,提供图像获取装置122及除尘装置124(步骤S604)。驱动除尘装置124随着图像获取装置122相对于待测物50移动(步骤S606)。通过图像获取装置122获取载台110上的待测物50的图像(步骤S608A),以检测待测物50。通过除尘装置124往载台110上的待测物50提供除尘气流F(步骤S608B)。所述步骤S608A及步骤S608B可同时进行,以达到于图像获取的同时进行除尘的效果。

  在所述光学检测方法中,可驱动图像获取装置122及除尘装置124同步地移动,且可使除尘装置124与载台110之间的距离小于图像获取装置122与载台110之间的距离。此外,在所述光学检测方法中,可从除尘装置124的开口124a沿倾斜于图像获取装置122的光轴A的方向提供除尘气流F,且当图像获取装置122对位于载台110上的待测物50的区域时,可使开口124a朝向载台110上的待测物50的所述区域。另外,在所述光学检测方法中,可通过光源128往载台110上的待测物50提供光束L,且可使光源128的光轴方向平行于除尘装置124提供除尘气流F的方向。

  综上所述,在本发明的光学检测设备中,将图像获取装置与除尘装置整合为一体,使除尘装置能够随着图像获取装置相对于待测物移动。藉此,除尘装置可在图像获取装置检测待测物的同时进行除尘作业,以确实地避免待测物的表面存在灰尘等异物而影响检测准确性。

  虽然本发明已以实施例揭示如上,然其并非用以限定本发明,任何所属技术领域中技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作些许的更改与润饰,故本发明的保护范围当视权利要求所界定者为准。


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